Titano dalys puslaidininkiams

1. Itin-mažo priemaišų išsiskyrimo kontrolė

Viso gamybos proceso metu taikome keraminių įrankių apdirbimo schemą ir{1}}be geležies. Visos pagalbinės medžiagos, besiliečiančios su ruošiniu, yra tris kartus valomos rūgštimi, griežtai kontroliuojant, kad bendras geležies, chromo ir kt. kiekis neviršytų 0,02%. Taip visiškai išvengiama įprastos metalo jonų užteršimo problemos puslaidininkių procesuose ir išvengiama per didelio metalo likučių susidarymo plokštelės paviršiuje. Tai sumažina grandinės trumpojo jungimo iš medžiagos pusės riziką.

 

2. Ilgalaikis-atsparumas korozijai

Po to, kai dalis bus suformuota, pasyvavimui ji bus panardinama į dvi skirtingas koncentracijas silpno oksiduojančio tirpalo. Ant paviršiaus susidarys vienoda 8-10 nm storio titano dioksido apsauginė plėvelė. Netgi esant puslaidininkių valymo procese 2000 valandų nepertraukiamai veikiant praskiestų vandenilio fluorido ir azoto rūgšties mišinių tirpalams, neatsiskirs duobės ir plokštelės paviršių nebraižys šiukšlės.

 

3. Didelio-tikslumo matmenų stabilumas

Apdorojimo metu visame procese naudojamas skysto azoto purškimas pastoviai temperatūrai kontroliuoti, kontroliuojant apdorojimo metu susidariusią deformaciją 0,003 mm atstumu. Prieš išvežant iš gamyklos gatavi gaminiai yra 24 valandas per parą tikrinami aukštoje ir žemoje temperatūroje. Net ir ilgą laiką dirbant puslaidininkinio proceso aplinkoje 180 laipsnių kampu, nebus deformacijų užstrigimo ir deformacijų prilipimo. Nereikia dažnai ardyti ir reguliuoti išlygiavimo tikslumo.

 

4. Mažas išmetimo greitis, tinkamas vakuuminei aplinkai

Visos dalys pirmiausia yra 48 valandas 120 laipsnių vakuume kepamos degazavimui. Vandens garai ir smulkios dalelės, adsorbuotos ant paviršiaus, visiškai pašalinamos. Sumontavus puslaidininkinėje vakuuminėje kameroje, ji gali padėti įrangai pasiekti tikslinį vakuumo laipsnį 25% greičiau nei naudojant įprastas nerūdijančio plieno dalis, taip sumažinant vakuuminio siurbimo laukimo laiką.

1. Vaflių padėklas PVD garų nusodinimo mašinai

Naudojamas dengiamai silicio plokštelei palaikyti. Esant aukštai -temperatūrai, kai purškiama tikslinė medžiaga, titano dalis nereaguos su purškiamomis dujomis ir į kamerą neišskirs perteklinių priemaišų, o tai gali 5 % pagerinti metalinės plėvelės sluoksnio, nusėdusio ant plokštelės paviršiaus, vienodumą, išvengiant drožlių nutekėjimo problemos, kurią sukelia nepakankamas metalo sluoksnio storis. Jis tinkamas dangų gamybos reikalavimams 28nm ir mažesniems procesams.

 

2. Vaflių laikiklio stovas šlapio valymo mašinai

Standartiniame RCA valymo procese stovas visiškai panardinamas į stiprių rūgščių ir stiprių šarmų valymo tirpalus. Titano medžiaga nebus surūdyta ir nesukels šiukšlių, taip pat neprilips prie plokštelės paviršiaus, kad užterštų daleles. Tai gali sumažinti vienos partijos plokštelių valymo dalelių defektų skaičių 12%. Tuo pačiu metu dėl lengvos stovo charakteristikos taip pat gali sumažėti valymo mašinos perdavimo apkrova ir sumažėti įrangos energijos sąnaudos.

 

3. Elektrodų fiksavimo sėdynė jonų implantavimo mašinai

Naudojamas aukštos{0}}įtampos elektrodams pritvirtinti aparate. Ne-magnetinė titano savybė netrukdys jonų pluošto trajektorijai, todėl jonų implantacijos gylio nuokrypį galima valdyti labai mažame diapazone, išvengiant netolygios injekcijos dozės lokalioje plokštelės srityje. Tai žymiai pagerina lusto elektrinio veikimo nuoseklumą.

 

4. Jungties flanšas puslaidininkiniam vakuuminiam vamzdynui

Skirtingų mašinos vakuuminio vamzdyno sekcijų sujungimas. Mažas titano išmetimo greitis gali palaikyti aukštą-švarią vakuuminę aplinką dujotiekio viduje ir nesukels vakuumo laipsnio svyravimų dėl dujų išsiskyrimo iš įprastų nerūdijančio plieno flanšų po ilgalaikio naudojimo. Tai sumažina mašinos išjungimo pavojaus signalų, kuriuos sukelia vakuumo sutrikimai, skaičių ir padidina nepertraukiamo gamybos linijos veikimo laiką 30%.

1. Nestandartinių matmenų tinkinimas-

Pasikliaudami savo 5 ašių apdirbimo centru, dalių ilgį, plotį ir aukštį galima reguliuoti pagal kliento turimos puslaidininkinės įrangos montavimo erdvę. Klientui nereikia keisti įrangos sąsajos, o pirmasis pavyzdys gali būti pristatytas per 7 dienas.

 

2. Paviršiaus būklės pritaikymas

Pagal poreikį galima pasirinkti du paviršiaus apdorojimo būdus: veidrodinį poliravimą ir matinį smėliavimą. Jie tinka skirtingiems gamybos proceso švaros reikalavimams ir gali išvengti dalelių sukibimo, turinčio įtakos puslaidininkių gamybos aplinkai.

 

3. Specialiųjų sąsajų pritaikymas

Specialias konstrukcijas, pvz., specialius kortelių lizdus ir padėties nustatymo angas, galima pritaikyti taip, kad jos visiškai atitiktų kliento{0}}sukurtos įrangos surinkimo reikalavimus. Jokių papildomų adapterio komponentų pridėti nereikia.

Prekė	Specifikacija
Produkto pavadinimas	Titano dalys puslaidininkiams
Medžiaga	Grynas titanas (2 klasė), titano lydinys (5 klasės Ti-6Al-4V)
Gamybos procesas	CNC apdirbimas, tekinimas, frezavimas, šlifavimas, suvirinimas
Galimos formos	Plokštė, žiedas, vamzdis, strypas, blokas, individualios dalys
Matmenys	Pritaikyta pagal brėžinius ar pavyzdžius
Tolerancija	Iki ±0,01 mm
Paviršiaus apdaila	Poliruotas, apdorotas smėliasrove, marinuotas, anoduotas, tiksliai apdorotas
Paviršiaus šiurkštumas	Ra 0,2–1,6 μm (galima pagal užsakymą)
Grynumas	Iki 99,6 % (2 klasės titanas)
Darbinė temperatūra	Iki 400 laipsnių
Tankis	4,51 g/cm³
Kietumas	2 klasė: HB 145–200; 5 klasė: HRC 30–36
Atsparumas korozijai	Puikus atsparumas rūgštims, šarmams ir technologinėms cheminėms medžiagoms
Cheminis suderinamumas	Tinka puslaidininkinėms cheminėms medžiagoms ir itin{0}}labai grynoms aplinkoms
Apžiūra	Matmenų patikra, medžiagų sertifikavimas, paviršiaus apžiūra

 

 

 

Populiarus Žymos: titano dalys puslaidininkiams, Kinijos titano dalys puslaidininkių gamintojams, tiekėjams, gamyklai